復合硬片氣體透過量測試儀

產(chǎn)品特征

壓差色譜法測試原理

循環(huán)介質(zhì)控溫(選購)

測試腔內(nèi)置溫度傳感器，實時監(jiān)控實際溫度

遠程維護升級

可支持 DSM 實驗室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，能實現(xiàn)數(shù)據(jù)統(tǒng)一管理，方便數(shù)據(jù)共享（選購）

技術(shù)指標

測試范圍：0.01- 2*E+04Barrers

測試流量：0-100ml/min（200ml/min, 300ml/min 可選）

測試精度：0.01Barrers

真空精度：0.1Pa

試驗氣體：O2 ,N2 ,CO,CO2 ,H2 ,CH4 ,C2H4 , C2H6 ,He 等；

注意：氧氣不得與易燃易爆氣體一同測試！腐蝕性氣體禁測；

試驗壓差：0-10bar（標準）；

系統(tǒng)耐壓：16bar

控溫范圍：5℃-95℃, 控溫精度：±0.1℃ （溫控裝置選購）

測試面積：Φ20mm（3.14cm2）

試樣厚度：≤2mm

試樣數(shù)量：1 件

檢測器靈敏度：≥5000mv.ml/mg 或 10000mv.ml/mg

檢測器漂移：≤0.10mv；噪音：≤0.015mv

載氣壓力：2bar

載氣種類：N2 ,H2 ,He,Ar；根據(jù)試驗氣體選擇載氣；

主機尺寸：320 mm（W）×625mm（D）×335mm（H）

色譜尺寸：590 mm（L）×480mm（W）×500mm（H） （標準）

供電電源：AC 220V 50Hz

復合硬片氣體透過量測試儀

產(chǎn)品配置  

標準配置：主機、真空泵、油霧過濾器、真空波紋管、PCIE 卡、GC 色譜儀、色譜柱、工作站軟件、 減壓閥（氧氮）、試驗氣管、載氣管、尾氣排管、通信電纜、真空密封脂

選 購 件：計算機、恒溫控制裝置、DSM 實驗室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)。